南京萊弗特帶你了解超純水設(shè)備的工藝

隨著電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過程中，對(duì)于水質(zhì)的要求也越來越高。為了保證生產(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純?cè)�材��、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是其中關(guān)鍵的因素之一。

高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對(duì)不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。超純水系統(tǒng)總體來說一般可分為三個(gè)部分：超純水制造區(qū)(CUB部分)、超純水拋光循環(huán)區(qū)(FAB部分)、超純水輸送管網(wǎng)(FAB各使用區(qū))。其中超純水制造區(qū)較為復(fù)雜，其又可分為：預(yù)處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。

下面就由南京萊弗特環(huán)�？萍加邢薰�司為大家簡單的介紹一下超純水設(shè)備的工藝：

預(yù)處理部分主要包括：沙濾、活性碳塔(有的廠商在沙濾前還增設(shè)反應(yīng)槽、氣浮池)。一次純水處理部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔(DG)、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級(jí)反滲透。超純水處理部分主要包括：MDG(脫氧膜組)、TOC-UV殺菌器、混床(MB)及終端過濾器。考慮到在向工藝設(shè)備輸送高純水過程中，輸水管道會(huì)對(duì)水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內(nèi)一般都設(shè)立拋光循環(huán)系統(tǒng)。拋光循環(huán)系統(tǒng)主要以MB為核心，再加上超濾設(shè)備(UF)，以除去在向工藝生產(chǎn)線輸送純水的過程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。

以上信息由南京萊弗特環(huán)�？萍加邢薰���提供，本公司通過多年在中國水務(wù)領(lǐng)域的發(fā)展與潛心研究，并與高校和科研機(jī)構(gòu)長期合作，實(shí)現(xiàn)并成為了集科研、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售為一體的多元化水處理實(shí)體高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)反滲透純水設(shè)備,EDI設(shè)備,EDI水處理設(shè)備,超純水設(shè)備,反滲透水處理設(shè)備等,設(shè)備專線：025-58703875。